公斤级粉体原子层沉积镀膜系统
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超高真空多腔体磁控溅射系统
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高真空磁控溅射系统
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内外腔型百克级粉体分子层沉积系统
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双倾角约瑟夫森结制备系统
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双腔体粉末及Wafer等离子体ALD
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高真空等离子体
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