超高真空双倾角室蒸发设备
技术参数 ：
1、UHV超高真空腔体：2腔室，负荷锁和蒸发，负荷锁极限真空 极限压力<1E-8 Torr，可加热RT-900ºC
2、蒸发腔：极限真空 极限压力<3e-9 Torr
3、高分辨率镀膜速率显示及控制 ：±0.015，Å100mm镀膜均一性<3%
4、基板操控能力：可实现180度倾斜及360度旋转，0.1度的精准控制，加热RT-600ºC
5、传输 ：全自动样品传输
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超高真空双倾角室蒸发设备
详细信息 超高真空双倾角室蒸发设备
技术参数 ： 1、UHV超高真空腔体：2腔室，负荷锁和蒸发，负荷锁极限真空 极限压力<1E-8 Torr，可加热RT-900ºC 2、蒸发腔：极限真空 极限压力<3e-9 Torr 3、高分辨率镀膜速率显示及控制 ：±0.015，Å100mm镀膜均一性<3% 4、基板操控能力：可实现180度倾斜及360度旋转，0.1度的精准控制，加热RT-600ºC 5、传输 ：全自动样品传输 |