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厦门韫茂科技有限公司  

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超高真空多腔体磁控溅射系统
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询价 暂无
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发货 福建省厦门市集美区
品牌 韫茂科技
型号 QBT-MP
范围 0.2un--1.5un可控
应用行业 小型试验设备
过期 长期有效
更新 2025-11-15 10:54
 
详细信息

超高真空多腔体磁控溅射系统

556.png

技术参数：


基板：可加热至RT-900ºC，可旋转，基板与靶材距离连续可调，晶圆和靶空间可以连续变化

极限真空：<3E-9Torr

基板传输：高度可靠和可重复的基板传输能力