内外腔型百克级粉体分子层沉积系统
技术参数 ：
1样品**装载量：100g(可根据需求定制), 也可放置3D基体及多片平片
2样品反应温度：RT-300ºC
3前驱体：**可包括2组反应气体8组液态或固态反应前驱体,
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内外腔型百克级粉体分子层沉积系统
详细信息 内外腔型百克级粉体分子层沉积系统
技术参数 ： 1样品**装载量：100g(可根据需求定制), 也可放置3D基体及多片平片 2样品反应温度：RT-300ºC 3前驱体：**可包括2组反应气体8组液态或固态反应前驱体, |