刻蚀环
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预热环
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A7石墨盘
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载盘
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石墨基座
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8 吋载盘
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UV-LED 石墨盘
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8 时环
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A8石墨盘
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TaC 圆环
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6&8 时过渡件
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长晶坩埚
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K465i石墨盘
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化学气相沉积炉
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石墨高温纯化炉
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