载盘

产品介绍：

可放置8时、12时硅衬底，用于生长硅基半导体用器件

适用机型：

Epsilon 2000 等同系列机台

产品参数：

基材：等静压石墨(纯度 >6N)
涂层：β-SiC(厚度=100±10 μm)
特点：致密度高，耐高温耐腐蚀，涂层结合力强

使用寿命：和进口同款产品相当

湖南联合半导体科技有限公司
· 公司成立于 2021年
· 主要产品:石墨、SiC和TaC涂层石墨成品
· 包含研发、生产、销售和服务,
· 为半导体和LED行业提供零部件。