产品介绍:
提高洁净的刻蚀环境,保证刻蚀精度和质量,用于晶圆刻蚀工艺
适用机型:
第三代半导体刻蚀机
产品参数:
基材:CVDSiC(纯度>6N)
特点:纯度高,耐腐蚀,高强度,化学性能稳定
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