产品介绍：
放置2时蓝宝石衬底，用于生长深紫外 LED的外延片
适用机型：
AIX CCS
产品参数：
基材：等静压石墨(纯度 >6N)
涂层：B-SiC(厚度=110±10 um)
特点：致密度高，耐高温耐腐蚀，涂层结合力强
使用寿命：>50Run
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UV-LED 石墨盘
详细信息 产品介绍： 放置2时蓝宝石衬底，用于生长深紫外 LED的外延片 适用机型： AIX CCS 产品参数： 基材：等静压石墨(纯度 >6N) 涂层：B-SiC(厚度=110±10 um) 特点：致密度高，耐高温耐腐蚀，涂层结合力强 使用寿命：>50Run |