双面研磨/抛光机
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碳化硅多线切片机
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12英寸半导体级单晶炉
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8英寸半导体级单晶炉
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硅部件级单晶炉
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6英寸半导体级单晶炉
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6 ~ 8英寸PVT碳化硅长晶炉 （感应式）
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碳化硅原料合成炉(100~150kg,电阻式)
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6 ~ 8英寸LPE碳化硅长晶炉 (感应式/电阻式）
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化合物退火炉
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