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核心产品 共 5 条

超高真空管道传输设备

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超高真空管道传输设备

圆形互联设备(外置机械臂、内置机械臂)

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圆形互联设备(外置机械臂、内置机械臂)

两个镀膜系统直接互联设备

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两个镀膜系统直接互联设备

晶圆真空传输平台—VTM

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晶圆真空传输平台—VTM

真空退火炉—VF-200

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真空退火炉—VF-200