晶圆真空传输平台采用四边形、六边形或八边形设计，可以实现多个工艺室的互联，系统可选配机械臂和校准装置，可实现8或12吋晶圆的自动传输。系统搭配控制软件可实现安全可靠的控制。
性能参数
晶圆尺寸 | 8或12吋 |
| 极限真空 | 优于5×10-7mbar |
| 前端模块 | 可选EFEM等 |
| 对接口 | 四个，六个，八个（可实现多套互联） |
| 机械臂 | 可选单臂和双臂，定位精度±0.1mm |
| 校准装置 | 对准器，校准传感器 |
| 真空系统 | 机械泵+分子泵，可选离子泵等 |
| 控制系统 | PC+PLC 安全互锁，碰撞保护,真空互锁等 |
| 标准 | SEMI |
核心产品详情
晶圆真空传输平台—VTM
产品参数
优先展示后台已配置的完整参数品牌致真精密
价格0.00
发货地安徽省合肥市
型号晶圆真空传输平台—VTM
范围定制
应用行业物料输送，粮食输送，石灰输送，水泥输送
详细信息
合肥致真精密设备有限公司 AI 产品顾问
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