（一）螺杆真空泵主要结构及性能特点：
1、工作腔内无任何介质，可获得清洁真空；
2、泵腔及螺杆转子表面有防腐涂层，可适用恶劣工况；
3、旋转部件无摩擦，可高速运转，整机体积小；
4、被抽气体直接排除泵体，便于尾气回收，无环保污染；
5、可与罗茨泵组成干式真空机组；
注：螺杆泵泵体内腔为PTFE涂层，转子表面有镍磷涂层和PTFE涂层任选。
（二）螺杆真空泵的主要技术参数：
| 型号规格 | SP40-4 | SP70-4 | SP110-4 | SP200-4 | SP400-4 | |
| 抽气速率L/S | 40 | 70 | 110 | 200 | 400 | |
| 抽气速率M3/h | 145 | 252 | 396 | 720 | 1440 | |
| 极限压力Pa | ≦10 | ≦10 | ≦10 | ≦10 | ≦10 | |
| 功率KW | 4 | 7.5/11 | 15 | 18.5/22.5 | 37 | |
| 同步传递r.p.m | 2950 | 1450 | ||||
| 口径mm | 吸入 | 40 | 50 | 80 | 100 | 150 |
| 排出 | 40 | 40 | 50 | 65 | 100 | |
| 油量L | 1.3 | 1.6 | 2 | 4 | 12 | |
| 冷却水L/min | 2 | 3.5 | 7 | 10 | 20 | |
| 吸气端 | 双唇塑密封 | |||||
| 排气端 | 双唇塑密封 | |||||
| 轴伸处 | 骨架油封 | |||||
| 重量KG（不含电机） | 220 | 317 | 403 | 600 | 1250 | |