干式真空机组是以罗茨真空泵为主泵，螺杆真空泵为前级泵的真空机组。此机组的过流部分没有任何液体作为工作液，对被抽工艺气体不产生任何二次污染，有利于保持被抽系统的清洁，便于可凝性气体的回收。
机组型号 | 泵型号 | **抽气量 （L/S） | 极限压力 （Pa）A | 功率 （KW） | |
主泵 | 前级泵 | ||||
JZJSP70-2 | ZJ-70 | SP40-4 | 70 | 1 | 0.75KW+4KW=4.75KW |
JZJSP150-1 | ZJP-150 | SP110-4 | 150 | 2.2KW+15KW=17.2KW | |
JZJSP150-2 | ZJP-150 | SP70-4 | 150 | 2.2KW+7.5KW=9.7KW | |
JZJSP300-2 | ZJP-300 | SP110-4 | 300 | 4KW+15KW=19KW | |
JZJSP300-4 | ZJP-300 | SP70-4 | 300 | 4KW+7.5KW=11.5KW | |
JZJSP600-2 | ZJP-600 | SP200-4 | 600 | 5.5KW+18.5KW=24KW | |
JZJSP600-4 | ZJP-600 | SP110-4 | 600 | 5.5KW+15KW=20.5KW | |
由于此种机组具有大抽气量、高真空度、无污染的特点、性能稳定，因此其应用越来越广泛。