干式真空泵，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式/水环式/喷射式真空泵的更新换代产品。
干式真空泵应用范围
1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；
2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；
3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式真空泵可以满足要求；
4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；
5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。
干式真空泵组装注意事项
1.在干式真空泵轴即转子轴设备之前，有必要来确定它是否弯曲或者是变形的；
2.转子平衡状况是不是符合标准的；
3.叶片和转子之间的合作开放空间；
4.是否需要多次密封缓冲补偿装置的紧固量；
5.干式真空泵泵转子与轴承位置的同心度是否满足要求；
6.调整轴承和端盖之间的开放空间；
7.调整密封部分的开放空间；
8.联轴器的同轴度是否符合要求。
干式真空泵