扩散泵的原理：在前级真空泵所造成的低真空条件下，加热泵内硅油，使受热沸腾蒸发，生成蒸气，以很高速度通过该泵的各级喷口的缝隙喷出，使容器内部的气体分子扩散到蒸汽中被带到前级真空泵所能作用的位置，由前级真空泵迅速抽出，使系统达到高真空的要求。
型号 | JK-150r | JK-200T | JK-300T | JK-400T | JK-500T | JK600r | KL-800r | |
极限压力(Pa) | 5x10-5 | |||||||
抽速(LS) | 350 | 600 | 1400 | 2600 | 3500 | 5600 | 9200 | |
主泵加热功率(KW | l | 1.8 | 3 | 4 | 6.5 | 8 | 13 | |
主机型号 | K-150T | K-200T | K-300T | k-400T | K-500T | K-600r | k-800T | |
配用挡板 | SB-150 | SB-200 | SB-300 | SB-400 | SB-500 | SB-600 | SB-800 | |
配用 | 主阀 | GD-150 | GDQ-200 | GDQ-300 | GDQ-400 | GDQ-500 | GDQ-600 | GDQ-800 |
管路阀门(2A) | GD-50 | GDQ-65 | GDQ-80 | GDQ-100 | GDQ-100 | GDQ-150 | GDQ-150 | |
配用的前级泵 | 2X-8 | 2X-15 | 2X-30 | 2X-70 | ZJ150 | ZJ300 | ZI600 | |
维持泵 | 储气罐 | 储气罐 | 储气罐 | 2x-4 | 2X-15 | 2X-15 | 2x-30 | |
进气直径（mm) | 150 | 200 | 300 | 400 | 500 | 600 | 800 | |
注：各泵配置为正常配置，根据客户具体使用条件可适当改进、增减。