一体化气体分配系统

产品介绍

MGDS气体输送系统为一体化气体分配系统技术提供了一种方法，利用平面密封技术，在更紧凑的气体面板上构建气体输送系统。每个表面安装组件遵循 SEMI 标准，可根据需求形成不同的配置形式。维护时，仅需在面板上方进行操作，简单方便。

MGDS 系列配套专用的减压器、隔膜阀、单项阀、底座及零部件。

主要部件材料

MGDS底座系列                      316L /316L（VIM+VAR）
MHD系列                               316L/316L（VIM+VAR）+Ni-Co alloy
MPD系列                                316L/316L（VIM+VAR）+Ni-Co alloy

MCV系列                                316L/316L（VIM+VAR）+Ni-Co alloy+FFKM

工作条件

工作压力                0 ～ 150psi
外漏率                      ≤ 1×10 ^-10 Pa.m³ /sec.He

工作温度                -10 ～ 60℃

内表面粗糙度          Ra ≤ 0.13μm

产品特点

利用平面密封技术，在更紧凑的气体面板上构建气体输送系统