产品介绍
MGDS气体输送系统为一体化气体分配系统技术提供了一种方法，利用平面密封技术，在更紧凑的气体面板上构建气体输送系统。每个表面安装组件遵循 SEMI 标准，可根据需求形成不同的配置形式。维护时，仅需在面板上方进行操作，简单方便。
MGDS 系列配套专用的减压器、隔膜阀、单项阀、底座及零部件。
主要部件材料
MGDS底座系列 316L /316L（VIM+VAR）
MHD系列 316L/316L（VIM+VAR）+Ni-Co alloy
MPD系列 316L/316L（VIM+VAR）+Ni-Co alloy
MCV系列 316L/316L（VIM+VAR）+Ni-Co alloy+FFKM
工作条件
工作压力 0 ～ 150psi
外漏率 ≤ 1×10 -10 Pa.m3 /sec.He
工作温度 -10 ～ 60℃
内表面粗糙度 Ra ≤ 0.13μm
产品特点
利用平面密封技术，在更紧凑的气体面板上构建气体输送系统