产品介绍
手动真空波纹管角阀采用316L波纹管并结合洁净工艺处理，使阀门在使用过程中减少颗粒物的产生，非常适用于半导体行业或研究环境。它主要用于规格仪表或系统隔离，同时也推荐作为通气、旁路或粗抽阀使用。
主要部件材料
阀体 316L /316L（VIM+VAR）
密封圈 FKM
波纹管 316L
手柄 6061
工作条件
真空压力等级 0.1Mpa-1x10 -9 pa
漏率 ≤ 1×10 -10 Pa.m3 /sec.He
CV值 1.0/1.5/2.2
工作温度 -10 ～ 80℃
内表面粗糙度 Ra ≤ 0.13μm
产品特点
采用 316L 波纹管并结合洁净工艺处理