小型超高真空退火炉

真空室结构:

退火室为立式双层水冷真空室，进样室为卧式结构

真空室尺寸:

φ350mm

极限真空度:

≤6.67E-7Pa

沉积源:

无

样品尺寸，温度:

φ4英寸，1片，**1600℃

占地面积（长x宽x高）:

约3米x1.1米x2米

电控描述:

手动

工艺:

不含工艺

产品概述：
由退火腔，样品库，进样室，加热器，真空系统组成。可实现在10-5帕超高真空状态下对工件退火1600℃

设备用途：
主要用于各类工件的退火;表面淬火件回火;焊件消除应力退火、时效等热处理工艺。