真空室结构:
立式钟罩上升盖
真空室尺寸:
φ600×H800mm
极限真空度:
1.0E-5Pa
沉积源:
无
样品尺寸,温度:
设计待定
占地面积(长x宽x高):
约2米x2米x2米
电控描述:
电控系统可实现系统供电,真空度采集,加热电源功率控制,水冷系统报警灯等功能
真空室结构:
立式钟罩上升盖
真空室尺寸:
φ600×H800mm
极限真空度:
1.0E-5Pa
沉积源:
无
样品尺寸,温度:
设计待定
占地面积(长x宽x高):
约2米x2米x2米
电控描述:
电控系统可实现系统供电,真空度采集,加热电源功率控制,水冷系统报警灯等功能
精简顾问模式,可继续咨询产品参数、适用工况、报价方式、交付周期和合作细节。