真空室结构:
立式钟罩上升盖
真空室尺寸:
φ600×H800mm
极限真空度:
1.0E-5Pa
沉积源:
无
样品尺寸,温度:
设计待定
占地面积(长x宽x高):
约2米x2米x2米
电控描述:
电控系统可实现系统供电,真空度采集,加热电源功率控制,水冷系统报警灯等功能
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详细信息 真空室结构: 立式钟罩上升盖
真空室尺寸: φ600×H800mm
极限真空度: 1.0E-5Pa
沉积源: 无
样品尺寸,温度: 设计待定
占地面积(长x宽x高): 约2米x2米x2米
电控描述: 电控系统可实现系统供电,真空度采集,加热电源功率控制,水冷系统报警灯等功能
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