序号
指标名称
主要技术指标
1
晶圆尺寸
8英寸
2
**温度
1100℃（石英）
1250℃（碳化硅）
3
控温精度
≤±0.5℃
4
温度均匀性
≤±1℃
5
升温速率
0-10℃/min
6
**装载量
170片
7
有效工作区域
Φ230mm×780mm
8
温区数量
5
9
气路数量
4
10
片内均匀性（WIW）
≤2%
11
片间均匀性（WTW）
≤2%
12
批间均匀性（RTR）
≤2%
13
新增颗粒
≤50（≥0.16μm）
≤30（≥0.2μm）
14
金属污染
<5E10 atms/cm2
立式炉