仪器简介：
椭圆偏振光谱是一种无损无接触的光学测量技术，基于测量线偏振光经过薄膜样品反射后偏振状态发生的改变，通过模型拟合后得到薄膜、界面和表面粗糙层的厚度以及光学性质等等，可测厚度范围为几埃至几十微米。此外，还可以测试材料的反射率及透过率。
技术参数：
* 光谱范围: 190-885 nm（可扩展至2100nm）
* 微光斑可选50μm-100μm-1mm
* 探测器：分别针对紫外，可见和近红外提供优化的PMT和IGA探测器
* 自动样品台尺寸：多种样品台可选
* 自动量角器：变角范围40° - 90°，全自动调整，小步长0.01°
主要特点：
* 50KHz 高频PEM 相调制技术，测量光路中无运动部件
* 具备超薄膜所需的测量精度，超厚膜所需的高光谱分辨率
* 具有毫秒级超快动态采集模式，可用于在线实时监测
* 自动平台样品扫描成像、变温台、电化学反应池、液体池、密封池等多种附件
* 配置灵活