1600CVD 系统

产品介绍:

KJ-CVD 是一种分体式管式炉，配备60mm直径的石英管，真空泵和四通道质量流量计气体流动系统。可混合1-6种气体进行CVD.

应用范围:

此款CVD生长系统适用于CVD工艺，如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。