炉室资料Puller Data
坩埚直径Crucible diameter： 20〞- 24〞
单晶直径Crystal diameter： 8〞- 12〞(200-300mm)
装料量Charge size： 90-150kg
喉管直径Throat Diameter： 14 ”(356mm)
主炉膛内径Main furnace Diameter： ￠1120mm
主炉膛高度Main furnace Height： 1480mm
炉门开口尺寸Pull Chamber Door Opening： 15”×82”（380mm×2082mm）
主真空泵抽速Vacuum Pumps-Main： 221 cfm (6,260 l/min)
辅助真空泵抽速(Recommended) Aux： 60 cfm (1700 l/min)
YTC150-MCZ电子级单晶炉