籽晶驱动单位
提升速度： 0-20 in / hr(0-508mm/hr)
转速： 0-50 rpm
厂务要求
电源电压：380 V±10%
频率：50 Hz
加热功率：250 KW预留双加热器
环境温度：5~40
相对湿度：＜70%
入口端**水温：25℃
*小流量：350 L/min
入口出口压力差：＞1.5kg/cm²
主氩气流量：200 slpm
吹扫流量：100 slpm
合计：300 slpm
推荐压力：＞4.5 kg/cm²
压缩空气
推荐压力：＞5.5 kg/cm²
控制系统
全自动生长控制过程
标准PLC/PC控制
选项Options
多晶硅进料系统
真空泵
真空过滤系统
取晶车
坩埚装卸系统