炉室资料Puller Data
坩埚直径 Crucible diameter：18〞- 22〞
单晶直径 Crystal diameter：6〞- 8〞(150-200mm)
装料量 Charge size：60-90kg
喉管直径 Throat Diameter：14 ”(356mm)
主炉膛内径 Main furnace Diameter：￠1000mm
主炉膛高度 Main furnace Height：1250mm
炉门开口尺寸 Pull Chamber Door Opening：15”×82”（380mm×2082mm）
主真空泵抽速 Vacuum Pumps-Main：221 cfm (6,260 l/min)
辅助真空泵抽速 (Recommended) Aux：60 cfm (1700 l/min)
排气方式 Exhaust：底排气 Exhaust end
副室类型 Deputy room type：全开门 Full-door
炉盖类型 Lid Type：穹顶 Dome
磁场类型 Field type：勾型、水平型（可选） hook type, horizontal type (optional)
有导流筒提升、激光测距、CCD控径
There draft tube upgrade, laser ranging, CCD control path
可提供二次加料 providing secondary feed
坩埚驱动单位 Crucible drive unit
提升速度 Lifting speed： 0-10 in/hr (0-254mm/hr)
*快提升速度 Crucible Jog Speed： (>250mm/min)
行程 Stroke： 18〞(457mm)
转速 Rotation speed： 0-20 rpm(可逆)
籽晶驱动单位 Crystal drive unit
提升速度 Lifting speed： 0-20 in/hr (0-508mm/hr)
快速提升速度 Seed Jod Speed： 20 in/min (508mm/min)
转速 Rotation speed： 0-50 rpm(可逆)
厂务要求Utilities
电源电压（Source Voltage） ：380V±10%
频率 （Frequency）：50/60 Hz
加热功率 (Heating Power）：IGBT 165KW底部加热50KW
环境温度（Ambient Temperature）：5～40
相对湿度（Relative Humidity）：＜70%
入口端**水温 (Maximum Inlet Temperature)：77°F (25℃)
*小流量（Minimum Flow Rate）：78 gpm (295 l/min) total
入口出口压力差（Diff. Supply Pressure）：30 psi (2.1kg/cm²)
主氩气流量（Mass Flow Control(Max.)）：200 slpm
吹扫流量 (Purge Flow)：100 slpm
合计（Facility Total）：300 slpm
推荐压力 Recommended Supply Pressure：75 psi (5.3kg/cm²)
压缩空气（Air）
推荐压力 Recommended Supply Pressure：90psi (6.3kg/cm²)
控制系统System Control
自动过程 Automatic process
标准PLC/PC控制 control by PLC/PC. Equipped as standard
外形尺寸Dimensions(approx.)
总高度 (closed）：6433mm
宽 Width (W)：2200mm
深 Depth (D)：2368mm