产品描述
石墨舟核心技术
· 二次纯化工艺，直接提高材料的纯度，长周期工况条件下，石墨舟各点电阻率仍保持优异的均匀一致性，保证电流均匀，降低镀膜色差，同时有效减缓石墨舟的氧化，提高寿命。
· 舟叶表面C-coating涂层工艺，舟页表面平面度、光洁度更好，使舟页和硅片之间接触面积更大，饱和以后使用次数增加，舟使用寿命延长。
· Balance加工工艺，**限度消除石墨舟片内应力，长周期使用后不易变形，有效减少热延展80%以上。
石墨舟核心指标
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PECVD石墨舟
详细信息 产品描述
· 二次纯化工艺，直接提高材料的纯度，长周期工况条件下，石墨舟各点电阻率仍保持优异的均匀一致性，保证电流均匀，降低镀膜色差，同时有效减缓石墨舟的氧化，提高寿命。 · 舟叶表面C-coating涂层工艺，舟页表面平面度、光洁度更好，使舟页和硅片之间接触面积更大，饱和以后使用次数增加，舟使用寿命延长。 · Balance加工工艺，**限度消除石墨舟片内应力，长周期使用后不易变形，有效减少热延展80%以上。
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