半导体芯片在经过蚀刻工艺后会产生残留物,以及需要对TiN腐蚀进行清洗,以保证晶圆表面光洁度,同样是保证良率的关键步骤。公司正在开发适用于不同节点的蚀刻后清洗液产品。产品包括酸性或碱性蚀刻后清洗液系列产品, 可适用于铝制程和铜制程以及光阻剂和氮化钛硬掩膜蚀刻后清洗。
核心产品详情
蚀刻后清洗液
产品参数
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价格0.00
发货地江苏省苏州市
型号蚀刻后清洗液
应用行业用于制造钬化合物中间体、化学试剂等工业。
详细信息
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