Atto10手套箱是经过验证的一种手套箱蒸镀一体机，坚固耐用的多功能设计标准方案。该系统可以手动和自动操作，具有广泛的沉积仪器选配，包括：电子束蒸发器，射频和直流溅射源，低温有机蒸发器和金属蒸发器。还有许多系统选项可用，如 石英晶体监测，高真空负载锁和加热，冷却，旋转或静态样品台。本系统由真空镀膜系统和Lab2000手套箱系统集成而成，手套箱是一种与大气隔绝的密闭环境的箱体，各种装配操作等工作能够通过手套在箱体里面进行，手套箱内部无水、无氧，只充满了高纯惰性气体，实现镀膜机和手套箱的无缝连接，解决镀膜产品被水氧分子污染的问题。ATTO10一体镀膜机
产品特点
既保证了高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀，又在手套箱高纯惰性气体氛围下进行样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测。
该系统具有高真空压力和抽空时间测试。
具有先进编程能力的行业**软件控制系统，系统的灵活性，
可以被配置为溅射系统，电子束系统，OLED系统，热蒸发系统或这些过程的任何组合。
可以集成各种光学和光谱技术，并将系统集成到需要惰性气氛的研究手套箱中。
产品应用
半导体工业中MOCVD技术、微电子半导体、OLED/PLED开发与生产、锂离子电池开发与生产、纳米材料研究、催化剂研究、钙钛矿太阳能电池的研发。