TRX40型直拉单晶炉主要技术参数
序号 | 名 称 | 参 数 | 备 注 |
1 | 炉膛尺寸 | Φ400mm×700mm | |
2 | 电源 | 三相AC220V 60Hz | |
3 | 加热功率 | 3×3kw | 3段式 |
4 | **加热温度 | 1200℃ | |
5 | 工作温度 | 1150℃ | |
6 | 控温精度 | ±0.5℃ | |
7 | 坩埚轴升降速度 | ≥200mm/min | |
8 | 坩埚轴行程 | 150mm | |
9 | 籽晶轴慢速 | 0.01-2mm/h | |
10 | 籽晶轴快速 | ≥200mm/min | |
11 | 籽晶轴转速 | 0-100rpm | |
12 | 籽晶轴行程 | 500mm | |
13 | **高度 | 2800mm | |
14 | 主机重量 | 1500kg | |
15 | 占地面积 | 1800mm×1800mm | |