DRT95型高温炉（纯化、退火）主要技术参数
序号 | 名 称 | 参 数 | 备 注 |
1 | 电源 | 380V/50Hz/3Ф | |
2 | 变压器容量 | 160kVA | |
3 | **加热功率 | 140kW | |
4 | **加热温度 | 2300℃ | |
5 | 温度控制精度 | ±0.5℃ | |
6 | 工作腔尺寸 | Ф950×1200 | |
7 | **坩埚尺寸 | Ф500×500 | |
8 | 冷炉极限真空度 | 5×10ˉ3Pa | |
9 | 冷炉压升率 | ≤5Pa/h | |
10 | 坩埚行程 | 450 | |
11 | 坩埚转速 | 0-20rpm | |
12 | 冷却水流量 | 250L/min | |
13 | 水压 | 0.15～0.25 MPa | |
14 | 进水温度 | 25℃±3℃ | |
15 | 氩气流量 | ≤200L/min | |
16 | 主机**高度 | 3600 | |
17 | 主机重量 | 3000kg | |
18 | 整机重量 | 7000kg |