性能
6英寸单片晶圆片降低衬底总成本35%;效率提升8倍
FRT表面形貌测试 BOW=1.4um
AFM表面测试 Ra=0.73um
晶片表面可直接进行CMP
精简顾问模式,可继续咨询产品参数、适用工况、报价方式、交付周期和合作细节。