仪器简介：
真空紫外光栅光谱仪
该系列光栅光谱仪主要应用于大约30nm至可见光区波段，部分型号的仪器可以将应用范围扩展到红外波段。光路设计主要以标准/改良型Czerny-Turner型、正入射型、Seya Namioka型为主，针对不同的实验需求做设计上的优化。
除主机部分外，还提供各种周边附件，以构成各种完整的测量系统。
技术参数：
| 波长范围 | 光谱 分辨率 | 焦距长度 | 产品型号 | 扫描 功能 | 多道探测功能 | 光路结构 |
| 30nm to 550nm | 0.1nm | 200mm | 234/302 | 有 | 有 | Corrected Concave Holographic |
| 105nm to 78µm | 0.06nm | 300mm | 218 | 有 | 有 | Criss Cross Czerny Turner |
| 105nm to 78µm | 0.04nm | 500mm | 219 | 有 | 有 | Corrected Czerny Turner |
| 30nm to 1200nm | 0.04nm | 500mm | 235 | 有 | 有 | Seya Namioka |
| 105nm to 78µm | 0.03nm | 670mm | 207V | 有 | 有 | Czerny Turner |
| 105nm to 78µm | 0.017nm | 1000mm | 2061V | 有 | 有 | Czerny Turner |
| 30nm to 1200nm | 0.015nm | 1000mm | 225 | 有 | 有 | Autofocus Normal Incidence |
| 30nm to 1200nm | 0.025nm | 1000mm | 231 | 有 | 有 | Seya Namioka |
| 105nm to 78µm | 0.012nm | 1330mm | 209V | 有 | 有 | Czerny Turner |
| 30nm to 1200nm | 0.007nm | 2000mm | 2252 | 有 | 有 | Autofocus Normal Incidence |
| 30nm to 1200nm | 0.005nm | 3000mm | 2253 | 有 | 有 | Autofocus Normal Incidence |
| 30nm to 1200nm | <0.003nm | 5000mm | 2255 | 有 | 有 | Autofocus Normal Incidence |
| 30nm to 1200nm | <0.0025 | 6500mm | 265 | 有 | 有 | Off Plane Eagle Normal Incidence |