SOI绝缘硅片，SOI是指将一薄层硅置于一绝缘衬底上。晶体管将在称之为'SOI' 的薄层硅上制备。基于SOI结构上的器件将在本质上可以减小结电容和漏电流，提高开关速度，降低功耗，实现高速、低功耗运行。作为下一代硅基集成电路技术，SOI广泛应用于微电子的大多数领域，同时还在光电子、MEMS等其它领域得到应用。中慧芯可提供4-8英寸等规格的SOI硅片。
| 外形尺寸 | 4"、5"、6"、8" |
| 工艺 | Smart cut:Bonding;SIMOX |
| 类型 | N/P |
| 顶层单晶厚度 | 0.22～50μm |
| 埋氧层厚度 | 0.1～4μm |
| 基底层厚度 | 100～500μm |