一般是指由单晶硅切割成的薄片。 硅片直径有2英寸、3英寸、4英寸、6英寸、8英寸等规格，主要用来生产集成电路。硅片只是原料，芯片是成品。硅片是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件。
中慧芯提供2英寸、3英寸、4英寸、6英寸、8英寸等规格的单晶硅硅片：
| 英寸 | 直径/mm | 抛面 | 掺杂 | 晶相 | 电阻/Ω.cm | 厚度/um |
| 2寸 | 50.8±0.5 | 双抛 单抛 | P/N | 100 | 1-20 | 200-500 |
| 3寸 | 76 | 双抛 单抛 | P/B | 100 | NA | 525±20 |
| 4寸 | 100±0.2 100±0.3 100±0.4 | 双抛 单抛 | P/N | 100 | 0.001-10 | 200-2000 |
| 6寸 | 150±0.3 | 双抛 单抛 | P/N | 100 | 1-10 | 500-650 |
| 8寸 | 200±0.3 | 双抛 单抛 | P/N | 100 | 0.1-20 | 625 |