主要技术指标、
射频发生器
（1）电路类型：电容三点式自激震荡电路。
（2）工作频率：40.68MHz±0.05％（3）频率稳定性：＜0.1％
（4）输出功率800-1200W
（5）输出功率稳定性≤0.3％
（6）电磁场泄露强度：距机身30cm 电场强度E:＜2V/m
进样装置
（1）输出工作线圈内径25mm.3匝
（2）矩管：三同心型.外径20mm的石英管
（3）同轴性喷雾器外径6mm
（4）双筒型雾外径34mm
（5）氩气流量量计规则：
①等离子气流量计（100-1000)L/h (1.6-16L/min)
②辅助气流量计（10-100）L/h (0.16-1.66L/min)
③载气流量采用质量流量计 由计算机控制（0-5L/min)
(6)扫描波长范围：3600线/mm
扫描波长范围:195-500nm
2400线/mm
扫描波长范围:195-800nm
(7)步进电机驱动*小步距：0.0006nm
(8)出射、入射狭缝：20um
(9)反射镜规格：（78×105×16）mm
(10)透镜：1:1成像
(11)分光器恒温装置：32℃±1℃
测光装置
(1)光电倍增管规格R212UH或R928
(2)光电倍增管负高压：200-1000V，稳定性：＜0.05％
(3)光电倍增管电流测量范围：10-4~10-9A
(4)信号采集为V/F交换:1mV对应100Hz