石墨舟的组成部分
石墨舟的分类
| 1.长度电极导电型 | 2.舟脚导电型 | 3.隔块导电型 |
石墨舟原材料
石墨舟改进成功方案
1.通用兼容型舟改造
方案：增加三个销钉孔
兼容规格：156-166 166-182 182-210
2.硅片减少划伤的石墨舟改造方案
方案：舟片内框及边缘增加倒角
说明：倒角分为：圆角（R角）斜角（C角）(坡角)
目的：减少机械手吸片操作时产生的机械划伤
3.石墨舟载片规格156型改166型改进方案
方案二：缩隔块，缩框与框的间距
说明：在不影响石墨舟承载硅片数量的前提下，修改隔块长度，修改框和框之间的间距
4.硅片减少划伤的石墨舟改造方案
方案：更换‘LV’销钉
说明：结合‘V’型销钉和‘U’型销钉，改进‘LV’销钉
目的：减少掉片率，减少划伤，减少硅片阴影面积
石墨舟的生产和质量管理
石墨舟的质量精度控制