核心产品详情
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铭恒PDCMG型等离子清洗机PDMS和玻璃键合设备
曝光机;曝光机Cchip;0019;高深宽比紫外光刻机;紫外光刻机
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产品视频
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产品参数
优先展示后台已配置的完整参数品牌中芯启恒
单位台
价格100.68/台
发货地江苏省苏州市
库存 / 起订86台
品牌中芯启恒
整机规格500×300×300（长×宽×高）mm
整机重量35 Kg：
清洗舱规格Φ165×L210 mm (耐热玻璃)
清洗舱有效容积4.5 L
输入电源220 V／50 Hz
整机输入功率400 W
射频输出0～150 W（连续可调）
射频频率13.56 MHz
数字式定时器范围0～99.99 min
极限真空度60 Pa
二路浮子流量计0.2~1.5L/min量程，方便二种气体按比例混合
观察窗观察清洗仓内辉光状态
常用工作气体空气、氩气、氮气或混合气体
型号VRD-8型单相真空泵
详细信息
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