亚皮秒紫外波长短，脉宽窄，材料吸收紫外光比吸收红外光更容易，紫外光子直接打断PVD镀膜材料表面的分子键，这种方式不会产生高的热量，俗称“冷加工”，主要采用紫外激光(波长355nm)，加工出来的部件具有光滑的边缘和不伤玻璃基材等优点。紫外亚皮秒PVD清除机非常成熟，直接利用激光器出光后通过扩束调整后连接到振镜的光学系统，通过激光光束照射到工件表面，气化掉表面PVD镀膜。
光清洗系统针对PVD工具清洗，可以有效清除多层涂层，不会产生机械损伤，对焊缝或密封表面无损伤，减少加热循环时间，绿色环保无需介质、化学试剂，不产生次级污染物，无需清理，一般反应室清洗在短短几个小时内即可完成。
激光清洗技术甚至可以清除*难清洗的气相沉淀层，包括类似金刚石碳涂层和其他耐磨涂层。捆绑式激光的威力能够将这些“防弹涂层”蒸发汽化。*终，精密金属基材能够被安全且无损地清除干净，且不产生残渣。等离子体室内可以手动或半自动地进行有效的激光去涂层同时清理干净。
PVD物理气相沉积指利用物理过程实现物质转移，将原子或分子由源转移到基材表面上的过程。它的作用是可以使某些有特殊性能（强度高、耐磨性、散热性、耐腐性等）的微粒喷涂在性能较低的母体上，使得母体具有更好的性能。 然而在这个过程中，喷的漆层不仅粘附到目标表面，还要与周围包括用于在反应室内把持零件的工具和夹具的表面整合起来。激光清洗系统可以高效的清洁PVD工具表面，避免过量的PVD喷涂材料会带来不良影响，如降低工件公差，反应室密封性差，导致湿度上升、加热时间延长。