高纯度纳米氧化铝分散液
该产品使用纳米ɑ-Al2O3，制备高纯度、高固含量，低粘度的纳米分散液，其具备优异的分散性和 稳定性，颗粒尺寸分布狭窄，不易二次团聚，可以长期存储稳定无沉淀。产品优势：更高的抛光去除率、更少的划伤、更低表面粗糙度、无需再分散、更易操作
产品参数 抛光参数
型 号 | JAN80 | JS200 | JB200 | JB500 | |
外观 | 白色液体 | ||||
晶型 | ɑ相 | ||||
二次粒径D50(μm） | 0.1-0.15 | 0.15-0.2 | 0.15-0.2 | 0.5-0.6 | |
pH | - | 酸碱性可调 | |||
固含量 | % | 20-30 | |||
纯度 | % | >99.99 | 99.9 | ||
包装 | 25kg/桶（电子级PE塑料桶），避光、通风、密封保存 | ||||
型 号 | JS200 | JB200 | JB500 | ||
抛光液参数 | 氧化铝含量5%，高锰酸钾含量3% | ||||
PH | 酸性 2-3，碱性8.5-9.5 | ||||
抛光工艺 | 6寸碳化硅衬底片，8PSI，1.5L/h循环流量，60rrp转速 | ||||
酸性 | Si面 | MRR(um/h) | 5-6 | 5-6 | 6-7 |
Ra值(nm) | <0.2 | <0.2 | <0.2 | ||
碱性 | Si面 | MRR（um/h） | 3.5-4 | 3.5-4 | 4-5 |
Ra值(nm) | <0.2 | <0.2 | <0.2 | ||
应用领域
芯片 二三代晶圆 液晶显示屏图层