硅基负极材料CVD包覆设备
作为下一代负极材料的主流趋势，硅基负极材料（包括SiOx、nano-Si、SA）通常需要进行一些表面改性包覆来提升材料性能，通过化学气相沉积CVD包碳是包覆的主流手段。
公司通过技术嫁接，针对硅基负极材料市场开发出新型的流化床气相沉积包覆装置，主要用于硅基负极材料的碳包覆。与现有的其他包覆设备相比，流化床CVD包覆设备可以带来更好的包覆均匀性、品质稳定性等。
该设备不仅可用于硅基负极材料的碳包覆，也可用于石墨等碳基负极材料的包覆、烧蚀等材料改性，也可针对客户需求匹配不同类型的沉积工艺。