主要技术指标.夹具压力:3kg-10kg可调;测高仪精度:1u;.磨抛精度:6英寸晶圆磨抛后TTV士5u;4英寸晶圆磨抛后TTV士3μ。
主要技术指标.夹具压力:3kg-10kg可调;测高仪精度:1u;.磨抛精度:6英寸晶圆磨抛后TTV士5u;4英寸晶圆磨抛后TTV士3μ。
主要技术指标.夹具压力:3kg-10kg可调;测高仪精度:1u;.磨抛精度:6英寸晶圆磨抛后TTV士5u;4英寸晶圆磨抛后TTV士3μ。
主要技术指标.夹具压力:3kg-10kg可调;测高仪精度:1u;.磨抛精度:6英寸晶圆磨抛后TTV士5u;4英寸晶圆磨抛后TTV士3μ。