产品特点
在部分热场中使用碳化硅涂层石墨部件代替纯石墨部件v
>材料致密，无针孔、微裂纹缺陷
适用于单晶硅拉晶炉、硅烷流化床法(FBR)等设备的热场
制备工艺根据产品需求定制
可提升热场高温强度、抗热腐蚀、延长热场寿命
应用领域
>光伏
>半导体
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光伏&半导体热场产品
详细信息 产品特点 在部分热场中使用碳化硅涂层石墨部件代替纯石墨部件v >材料致密，无针孔、微裂纹缺陷 适用于单晶硅拉晶炉、硅烷流化床法(FBR)等设备的热场 制备工艺根据产品需求定制 可提升热场高温强度、抗热腐蚀、延长热场寿命 应用领域 >光伏 >半导体 |