全自动双轴减薄机FSG系列

全自动双轴减薄机由晶圆机械手、3个承片工作台、2个砂轮轴、清洗单元等单体组成，通过承片工作台和砂轮轴的旋转，同时砂轮轴向下进给，对承片工作台上的产品进行磨削加工，加工过程中使用在线厚度测量，控制产品厚度直至设定的目标厚度。且承片工作台可以在加工过程中自动调节加工角度，修整目标产品的形状。