技术参数
| 序号 | 项目 | 规格参数 | ||
| 1 | 下盘 | 尺寸 | Φ1252mm×Φ708mm×90mm(研磨) | |
| Φ12660mm×Φ700mm×90mm(抛光) | ||||
| 转速 | 5-70 rpm | |||
| 驱动电机 | 15kW AC380V 50Hz 1460rpm | |||
| 2 | 上盘 | 尺寸 | Φ1252mm×Φ708mm×90mm(研磨) | |
| Φ1260mm×Φ700mm×90mm(抛光) | ||||
| 转速 | 3-40 rpm | |||
| 驱动电机 | 11kW AC380V 50Hz 1460rpm | |||
| 3 | 游星轮 | 参数 | 节距：15.7 Z=64 | |
| 数量 | 9个 | |||
| 4 | 太阳轮 | 转速 | 3-35 rpm | |
| 驱动电机 | 2.2kW AC380V 50Hz 1400rpm | |||
| 5 | 齿圈 | 转速 | 3-35 rpm | |
| 驱动电机 | 4kW AC380V 50Hz 1400rpm | |||
| 升降电机 | 0.75kW AC380V 50Hz 1400rpm | |||
| 升降行程 | 30mm | |||
| 6 | 精度指标 | 上、下盘平面度 | ≤0.02mm | |
| 下盘端跳 | ≤0.03mm | |||
| 7 | 加工范围 | **加工尺寸 | Φ280mm | |
| *小加工厚度 | 0.20mm(≤2"片) | |||
| 整盘承载量 | 18×9=162片（2" 圆片） | |||
| 8 | 水源 | 纯水或自来水 | ||
| 9 | 电源 | 功率 | 34kW AC380V 50Hz | |
| 线缆规格 | 三相五线刮．3×10mm²+2×6mm² | |||
| 10 | 气源 | 压力 | 压缩空气源0.5-0.6Mpa | |
| 接管口径 | 接口Φ10mm（外径） | |||
| 11 | 外形尺寸 | 长×宽×高：2100mm×1600mm×3013mm(含地脚80) | ||
| 12 | 重量 | 约7500Kg | ||