一、主要用途
主要用于蓝宝石、蓝玻璃、陶瓷片、晶体、半导体及其他硬脆材料的高精度双面研磨/抛光，尤其适用于超薄工件的加工。
二、产品特点
1、压力精密控制：PLC+PT+电气比例阀+低摩擦气缸实现高精度压力闭环控制;
2、上盘减震装置：动静态均适用的减振弹性连接方式;
3、精密传动系统：高精度小齿隙全齿轮传动;
4、下盘支撑：高精度平面流体轴承支撑;
5、销齿传动：内外齿采用销齿传动，延长载体使用寿命，维护便捷;
6、传动系统：三电机同步拖动，上盘、下盘和齿圈、太阳轮(即可正转，也可反转)转速可任意设定，具有配方功能。
三、技术参数
| 序号 | 项目 | 规格参数 | ||
| 1 | 下盘 | 尺寸 | Φ952mm×Φ388mm×50mm(研磨) | |
| Φ960mm×Φ380mm×50mm(抛光) | ||||
| 转速 | 3-45 rpm | |||
| 驱动电机 | 7.5kW AC380V 50Hz 1440rpm | |||
| 2 | 上盘 | 尺寸 | Φ952mm×Φ388mm×50mm(研磨) | |
| Φ960mm×Φ380mm×50mm(抛光) | ||||
| 转速 | 3-30 rpm | |||
| 驱动电机 | 4.0kW AC380V 50Hz 1440rpm | |||
| 3 | 游星轮 | 参数 | 节距：15.7 Z=64 | |
| 数量 | 6个 | |||
| 4 | 太阳轮 | 转速 | 0-20 rpm | |
| 驱动电机 | 1.5kW AC380V 50Hz 1440rpm | |||
| 5 | 精度指标 | 上、下盘平面度 | ≤0.015mm | |
| 下盘端跳 | ≤0.02mm | |||
| 6 | 加工范围 | **加工尺寸 | Φ280mm | |
| *小加工厚度 | 0.15mm(≤2"片） | |||
| 整盘承载量 | 18×6=108片（2" 圆片） | |||
| 7 | 水源 | 纯水或自来水 | ||
| 8 | 电源 | 功率 | 14kW AC380V 50Hz | |
| 线缆规格 | 三相五线刮．3×4mm²+2×2.5mm² | |||
| 9 | 气源 | 压力 | 压缩空气源0.5-0.6Mpa | |
| 接管口径 | 接口Φ10mm（外径） | |||
| 10 | 外形尺寸 | 长×宽×高：1650mm×1300mm×2500mm | ||
| 11 | 重量 | 约3000Kg | ||
1、压力精密控制：PLC+PT+电气比例阀+低摩擦气缸实现高精度压力闭环控制;
2、上盘减震装置：动静态均适用的减振弹性连接方式;
3、精密传动系统：高精度小齿隙全齿轮传动;
4、下盘支撑：高精度平面流体轴承支撑;
5、销齿传动：内外齿采用销齿传动，延长载体使用寿命，维护便捷;
6、传动系统：三电机同步拖动，上盘、下盘和齿圈、太阳轮(即可正转，也可反转)转速可任意设定，具有配方功能。
1、压力精密控制：PLC+PT+电气比例阀+低摩擦气缸实现高精度压力闭环控制;
2、上盘减震装置：动静态均适用的减振弹性连接方式;
3、精密传动系统：高精度小齿隙全齿轮传动;
4、下盘支撑：高精度平面流体轴承支撑;
5、销齿传动：内外齿采用销齿传动，延长载体使用寿命，维护便捷;
6、传动系统：三电机同步拖动，上盘、下盘和齿圈、太阳轮(即可正转，也可反转)转速可任意设定，具有配方功能。