| 产品介绍及用途： | SiC外延设备反应腔其他配件的载具，可控温 |
| 产品所处设备位置： | 反应腔内，非直接接触晶圆 |
| 主要下游产品： | 功率器件 |
| 主要终端市场： | 新能源汽车 |
主要产品可用于碳化硅（SiC）外延设备、MOCVD设备、硅（Si）外延设备等多种半导体设备反应腔内，公司产品及服务广泛应用于半导体及泛半导体领域。
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上半月件 SiC外延设备零部件
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主要产品可用于碳化硅（SiC）外延设备、MOCVD设备、硅（Si）外延设备等多种半导体设备反应腔内，公司产品及服务广泛应用于半导体及泛半导体领域。 |