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方案案例
【助力科研】采用粉末挤出打印结合一步烧结法制备高密度SiC陶瓷
2025-11-15IP属地 未知0

辽宁大学物理学院、松山湖材料实验室、东莞职业技术学院团队合作,采用粉末挤出打印(PEP)增材制造技术结合一步烧结法,成功制备出含原位合成YAlO₉(YAM)的高密度(97%SiC陶瓷,且无需任何后处理。相关成果以A novel approach to prepare high density SiC ceramics by powder extrusion printing (PEP) combined with one-step sintering method”为题,发表在陶瓷领域的权威期刊《Journal of the European Ceramic Society》上。

 

背景

碳化硅(SiC)陶瓷因其高熔点、高硬度、优异的高温机械性能与化学稳定性,在半导体、核能、航空航天等高技术领域具有广泛的应用前景。随着半导体工业的快速发展,对复杂结构SiC陶瓷件的需求日益增长。传统的陶瓷成型工艺难以高效制备复杂形状的构件,而增材制造(AM)技术为此提供了新的解决方案。粉末挤出打印(PEP)作为一种新兴的增材制造工艺,具有成本低、设备要求简单、操作便捷等优势,尤其适用于陶瓷材料的复杂结构成形。

 ▲升华三维粉末挤出3D打印工艺示意图

 

然而,SiC陶瓷因其共价键性强、自扩散系数低,难以在烧结过程中实现致密化,通常需要后处理工艺如渗硅、反应熔渗等,这些方法不仅延长了制备周期,还可能引入残留硅,降低材料的高温性能。因此,开发一种无需后处理即可实现高致密SiC陶瓷的制备方法具有重要意义。

 

摘要

关键词:粉末挤出打印(PEP)、增材制造(AM)、碳化硅陶瓷、YAlO (YAM)、一步烧结;原文链接:

 

本研究提出采用PEP增材制造技术结合一步烧结法,成功制备出含原位合成YAlO₉(YAM)的高密度(97%SiC陶瓷,且无需任何后处理。该工艺系统研究了SiC生坯的打印、脱脂与烧结过程,并通过多种表征手段分析了材料的微观结构与力学性能。研究首次通过高分辨透射电镜(HRTEM)揭示了YAMSiC之间的晶体学取向关系为(040YAM//10`11SiC[102]YAM//[1`210]SiC。烧结后的SiC样品密度为3.11g/cm³,维氏硬度为19.35±0.28GPa,三点弯曲强度为225±27MPa该研究表明,PEP结合一步烧结法为制备具有复杂形状、高密度和优异力学性能的SiC陶瓷提供了新策略。

 

图片解析

▲图1. (a)粉末挤出打印工艺示意图,(b)由不同f形成的两个生坯,(c)用于机械性能测试的烧结后生坯。

▲图2. (a)表面改性粉体示意图,(b)表面改性粉体FTIR光谱,(cd)原料在相容和交联过程中的示意图,(e)原料形貌及图(e)中原料的插图为宏观形貌,(f)原料高分辨率图像。

▲图3.ab)生坯Af=10mm/s)的表面形貌及结合工艺示意图,(cd)生坯Bf =12 mm/s)的表面形貌及结合工艺示意图。

▲图4. (a)SiC生坯的TG-DSC(b)SiC生坯的脱附温度曲线,(c)SiC生坯脱附前的FTIR光谱,(d)SiC生坯脱附后的FTIR光谱。

 

▲图5.SiC1200-1950 ℃温度下烧结的生坯的XRD图谱。

▲图6.烧结SiC2D3D微观结构,(ab)样品A (cd)样品B

▲图7.烧结SiC(样品B)的SEM图像和EDS结果。

 

▲图8.ab)为烧结SiC(样品B)的TEM图像,(cd)为烧结SiC(样品B)的SAED图谱。

▲图9.ab)为烧结SiCTEM图像及STEM-EDS元素分布图,(c)SiC-YAM界面的HRTEM图像,(def)分别对应图9(c)def区域的傅里叶变换散射图。

▲图10.a)金刚石压头在烧结SiC(样品B)表面形成的微压痕形貌;(b)烧结SiC(样品B)的裂纹扩展路径SEM图像;(c)三点弯曲断口的SEM图像,插图为相应SiC(样品B)三点弯曲测试后的光学照片;(d)三点弯曲SiC(样品B)断裂表面的高倍显微图像。

 

结果与讨论

1. 丝材重叠度对生坯质量的影响:通过调控打印参数中的螺杆挤出速度(f),研究团队发现较高的丝材重叠率(η)可显著提高生坯密度,但会略微降低表面质量。当f=12mm/s 时,生坯密度可达2.15g/cm³,重叠率为34%,烧结后样品密度提升至3.11g/cm³。

2. 脱脂与烧结过程的优化:通过TG-DSCFTIR分析,确定了脱脂工艺可完全去除聚合物粘结剂而不破坏结构完整性。在烧结过程中,YO₃与AlO₃在1400°C先形成YAGYAlO₁₂),在1800°C以上进一步反应生成YAM,并分布于SiC颗粒之间的三叉晶界处,有效促进致密化。

3. 微观结构与界面分析:SEMTEM结果显示,YAM均匀填充在SiC颗粒之间,减少了孔隙,提高了材料密度。HRTEMFFT分析首次明确了YAM6H-SiC之间存在共格界面,晶格失配率仅为3.9%,表明两者具有良好的界面结合。

4. 力学性能:烧结样品表现出优异的力学性能:维氏硬度达19.35GPa,三点弯曲强度为225MPa。裂纹在压痕周围沿晶界曲折扩展,表明显著提高了材料的断裂韧性。

 

结论

本研究成功开发了一种基于PEP增材制造与一步烧结法制备高密度SiC陶瓷的新工艺,具有以下突出优势:

基于PEP增材制造的优势

l无需后处理:通过原位合成YAM实现致密化,避免了传统后处理工艺带来的残留硅问题;

l高密度与优异力学性能:密度达3.11g/cm³,硬度与弯曲强度均达到工程应用要求;

晶体学界面关系明确:首次揭示YAMSiC之间的共格界面关系,为材料设计提供理论基础;

l工艺简单、成本低:PEP技术设备要求低,适用于复杂结构件的快速成形。

该技术为高性能SiC陶瓷在高温结构件、光学平台、电子封装等领域的应用提供了新的制造策略,具有重要的科学与工程意义。