ARK 高输出型芯片周边曝光led光源
适用于q线、i线抗蚀剂的芯片周边曝光用的UV-LED光源。通过的光学设计，实现了7000mw/cm2以上的高输出。适用于以往需要较长时间处理的厚抗蚀剂的处理。进一步可大幅缩短曝光处理时间，大大有助于芯片处理张数的增大。适用于g线、i线抗蚀剂的芯片周边曝光用的UV-LED光源。通过的光学设计，实现了7，000mw/cm2以上的高输出。适用于以往需要较长时间处理的厚膜抗蚀剂的处理。进一步可大幅缩短曝光处理时间，大大有助于芯片处理张数的增大。适用于q线、i线抗蚀剂的芯片周边曝光用的UV-LED光源。通的光学设计，实现了7，000mw/cm2以上的高输出。适用于以往需要较长时间处理的厚膜抗蚀剂的处理。进一步可大幅缩短曝光处理时间，大大有助于芯片处理张数的增大。