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氧等离子清洗机其原理是:在低真空环境中通入氧气，上电极接入的射频功率会使得上极板与下极板交替(阴极)发射电子，电子经过上下极板之间的电场加速后撞击氧分子:当电子速度达到足够大时，其撞击便会使氧气电离;电离后的氧等离子体中含有的多种带电粒子，在电场的作用下，这些带电粒子不断碰撞别的粒子，不断变化;*后氧等离子体整体达到动态平衡，其含有各种粒子的比例由射频功率决定。同时在这个过程中，需要不断输入氧气和排出废气。