小型真空等离子清洗机具有清洁、灰化、刻蚀等功能，可用来清洁纳米级样品，去除光刻胶，清洁晶圆和集成电路键合
煌盘，进行煤和有机物的灰化，激活聚合物、金属和陶瓷表面官能团，获得表面亲水性，提高键合强度和可印刷性，促
进医疗器械生物相容性。
小型真空等离子清洗机产品优势:
●小型等离子清洗机清洗效果好，清洗效率高，功率大，应用范围广。
·直观的触摸屏用户界面，可储存多条用户程序，全自动运行
·8K 镜面不锈钢腔体，**密封性
·可支持 13.56 MHz 射频发生器，自动阻抗匹配调谐
·支持各种工艺气体，包括氩气，氧，氢，氦和氟化气体
·对清洗样品，没有任何材质、外观尺寸等要求，
等离子清洗过程中，温升很小，基本可达到常温处理，
·高效的特制电极，是产生均匀等离子体的保证。
·特制电极和托盘结构，可保证样品可得到全面有效的清洗。
。由干功耗低日无重特殊外理气体，该装署是提高表面润湿性和附着力的非堂经济高效的解决方案